2019年电子工业对废气排放有什么标准跟废气治理技术有什么计划

跟着电子工业的打开，政府对电子作业VOCs排放越来越注重。各地政府也出台了相关的排放规范，为电子工业VOC办理供应了保证。盛华环保小编汇总了相关的规范，以供参阅。

国家层面：

2008年环保部印发《电子工业污染物排放规范 半导体器件》(征求意见稿)。规则VOCs的限值现有企业为80mg/m3，新建企业为60mg/m3。

2008年环保部印发《电子工业污染物排放规范 电子元件》(征求意见稿)。规则VOCs的限值现有企业为80mg/m3，新建企业为50mg/m3。

2008年环保部印发《电子工业污染物排放规范 电子终端产品》(征求意见稿)。规则VOCs的限值现有企业为70mg/m3，新建企业为50mg/m3。

2008年环保部印发《电子工业污染物排放规范平板显示器、电真空及光电子器件》(征求意见稿)。规则VOCs的限值现有企业为100mg/m3，新建企业为80mg/m3。

2015年环保部印发《电子工业污染物排放规范》(征求意见稿)规则非甲烷总烃容许排放浓度为100mg/m3，特别排放限值是80mg/m3，没有触及TVOCs。

2018年环保部印发《电子工业污染物排放规范》(二次征求意见稿)规则非甲烷总烃容许排放浓度为100mg/m3，TVOCs是150mg/m3。特排限值分别为50、100。

当地层面：

北京市《大气污染物归纳排放规范》(DB11/501-2007)中规则半导体及电子产品制作VOCs的限值现有企业为50mg/m3，新建企业为20mg/m3。

天津市《工业企业挥发性有机化合物排放操控规范》(DB12/524-2014)。规则电子工业VOCs容许排放浓度为80mg/m3。

上海市《半导体作业污染物排放规范》(DB31/374-2006)。规则VOCs容许排放浓度为100mg/m3。

2017年广东省《电子工业挥发性有机物排放规范》(征求意见稿)。规则VOCs容许排放浓度为30mg/m3。

2017年广东省《电子设备制作业挥发性有机化合物排放规范》(征求意见稿)。规则VOCs容许排放浓度为40mg/m3。

2018年江苏省《半导体作业污染物排放规范》(征求意见稿)。规则非甲烷总烃容许排放浓度为60mg/m3。

2018年北京市《电子工业大气污染物排放规范》(征求意见稿)。规则非甲烷总烃容许排放浓度为20mg/m3，TVOCs是40mg/m3。

高温等离子燃烧技能:

高温等离子燃烧技能是高频(30KHz)高压(10万伏)大功率电源在特定条件下的聚能放电。工业废气在反应器中由常温急剧上升至3千度高温，在高温、高电势的两层作用下，有机污染成分(VOCs)瞬间被电离并完全裂解。

经高温等离子燃烧处理，工业废气中有机物(VOCs)裂解成为碳、二氧化碳、水蒸气等单质物质。

废气处理工艺示意图：

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催化燃烧设备高温等离子燃烧设备特色:

健壮的功率和专业的规划使工业废气瞬间成为3千度的高温等离子体，有害物质根除率大于98%，契合国家指定排放规范。

不锈钢一体化结构， 耐腐蚀，牢靠

智能化长途操控，无需专职人员值守。

我们提出“高温等离子RTO燃烧”这一概念(发明专利)，是把握该技能并实践应用的企业。为工业废气办理拓荒了一条全新的途径。

“高温等离子燃烧”技能比较“传统RTO(天然气燃烧办法)”有以下优势：

1、 连续不间断的处理废气，(天燃气RTO为间歇作业形式)这在废物燃烧尾气，凹版印刷有机废气处理应用方面尤为重要。

2、性：能够处理高浓度、成分杂乱、易燃易爆及含有许多水分、固态、油状物的工业废气，结束合格排放。

3、uv光氧催化不消耗天然气，无碳排放问题。没有阀门等运动部件，能够无故障，不间断运转上万小时。

4、 风阻小，能耗低：处理2万立方米/小时的燃气RTO，为打败陶瓷蓄热体风阻就需求功耗为90千瓦的引风机。

而处理2万立方米/小时的高温等离子燃烧设备(25千瓦)，连同引风机(21千瓦)仅消耗46千瓦功率。

当VOCs类废气排放浓度低于200mg/m3，选用低功率密度高温等离子处理设备，每1万m3功耗仅为10kW。

不管从资金投入仍是从营运本钱考量，本方案要远胜于浓缩吸附+RTO燃烧方案。

5、能效比高：节约能源，高温等离设备废气排放口温度，比废气进口温度仅进步几十度。

6、处理作用好：二恶英等难以处理的物质，瞬间完全分解，结束合格排放。(是废物燃烧尾气排放二恶英问题的志向处理方案)

7、无臭氧排放问题(低温等离子设备存在臭氧排放问题)。

8、经济适用：相同规范的高温等离子设备，价格不到燃气燃烧RTO的二分之一，运营本钱低于二分之一。

9、占地面积小，自动化程度高节约人力，运营本钱低。

10、不会发作二次污染。无异味，对人口居住密布区域而言这是一个重要的考量目标。

11、天燃气燃烧法RTO造价昂扬，许多消耗天燃气、氧气，增加二氧化碳、一氧化碳排放，有二次污染之虑，无法应对日渐严格的环境保护规范。天燃气燃烧法因其作业机理及自身结构上的缺点，在易燃易爆场所，或处理废气中含有可燃成分时需求考虑防爆问题。天燃气运送储存进程或许存在因走漏而引发的问题

高温等离子燃烧技能在工业废气处理方面的应用是一个划时代的技能变革。

高温等离子燃烧技能将逐步代替天燃气RTO，废气处理设备厂家成为新兴产业。